低溫泵是氣體包封真空泵的壓力範圍從10 -3至<10 -11mbar(0.75×10 -3 ≤ 0.75×10 -11torr)。的操作原理是,氣態物質的低溫冷凝,低溫吸附或cryotrapping的通過綁定到泵內的冷的表面   ,以便能夠產生一個高或超高真空冷表面(cryopanels)的必須被冷卻至足夠低的溫度,   根據冷卻系統的類型使用冰箱低溫泵,浴低溫泵和蒸發器低溫泵之間的差。