低溫泵是氣體包封真空泵的壓力範圍從10 -3至<10 -11mbar（0.75×10 -3 ≤ 0.75×10 -11torr）。的操作原理是，氣態物質的低溫冷凝，低溫吸附或cryotrapping的通過綁定到泵內的冷的表面   ，以便能夠產生一個高或超高真空冷表面（cryopanels）的必須被冷卻至足夠低的溫度，   根據冷卻系統的類型使用冰箱低溫泵，浴低溫泵和蒸發器低溫泵之間的差。