油擴散泵的工作原理與水蒸汽噴射泵相似,都是靠高速蒸汽射流來攜帶氣體以達到抽氣的目的,故有如水蒸汽噴射泵相似的特點。不同點是擴散泵工作在高真空區域,其工作壓強範圍為10-2~10-6pa。廣泛用於電子、化工、冶金、機械、石油及原子能等工業部門中。Diffusion pump 是目前光學業使用最普遍高真空幫浦,也是目前抽氣速率最大 。