MARCH PX-1000等離子系統/真空烤箱
系統、設備、零件
商品名稱:
規格介紹:
MARCH PX-1000等離子系統是專為滿足24小時運作的高性能生產環境的嚴格要求。該系統提供了均勻的等離子體處理,具有無與倫比的可靠性,安全性和操作簡便性。
為高容量的能力要求提高生產率
PX-1000可選HTP(高吞吐量)貨架等離子系統結合諾信MARCH獨特的貨架設計中獲益的PX-1000系統的可靠性和工藝質量。對PX-1000 HTP優化使用RF等離子中的反應性離子,在下降過程中的時間的同時提高了處理的均勻性。
對PX-1000 HTP系統允許選擇從工藝氣體(如氬氣,氫氣和氦氣)的範圍內。它標配配備四個最佳氣體控制質量流量控制器。開槽雜誌,都是垂直放置箱內。
MARCH PX-1000等離子系統/真空烤箱
規格介紹:MARCH: PX-1000
等離子清洗機
電源:200V 20A 50/60HZ 2P
RF射頻發生器:ENI ACG-10B 13.56Hz,1000W
幫浦搭配Alcatel 2063 C2
MARCH PX-1000等離子系統是專為滿足24小時運作的高性能生產環境的嚴格要求。該系統提供了均勻的等離子體處理,具有無與倫比的可靠性,安全性和操作簡便性。
為高容量的能力要求提高生產率
PX-1000可選HTP(高吞吐量)貨架等離子系統結合諾信MARCH獨特的貨架設計中獲益的PX-1000系統的可靠性和工藝質量。對PX-1000 HTP優化使用RF等離子中的反應性離子,在下降過程中的時間的同時提高了處理的均勻性。
對PX-1000 HTP系統允許選擇從工藝氣體(如氬氣,氫氣和氦氣)的範圍內。它標配配備四個最佳氣體控制質量流量控制器。開槽雜誌,都是垂直放置箱內。
詳細介紹: