MARCH PX-1000等離子系統/真空烤箱

商品名稱:

MARCH PX-1000等離子系統/真空烤箱

規格介紹:

MARCH: PX-1000

等離子清洗機

電源:200V 20A 50/60HZ 2P

RF射頻發生器:ENI ACG-10B 13.56Hz,1000W

幫浦搭配Alcatel 2063 C2



MARCH PX-1000等離子系統是專為滿足24小時運作的高性能生產環境的嚴格要求。該系統提供了均勻的等離子體處理,具有無與倫比的可靠性,安全性和操作簡便性。
為高容量的能力要求提高生產率

PX-1000可選HTP(高吞吐量)貨架等離子系統結合諾信MARCH獨特的貨架設計中獲益的PX-1000系統的可靠性和工藝質量。對PX-1000 HTP優化使用RF等離子中的反應性離子,在下降過程中的時間的同時提高了處理的均勻性。

對PX-1000 HTP系統允許選擇從工藝氣體(如氬氣,氫氣和氦氣)的範圍內。它標配配備四個最佳氣體控制質量流量控制器。
開槽雜誌,都是垂​​直放置箱內。

詳細介紹: