ULVAC CRTM-9000 膜厚控制器
系統、設備、零件
商品名稱:
規格介紹:
ULVAC CRTM-9000 膜厚控制器
規格介紹:ULVAC CRTM-9000 膜厚控制器
特點
辨率,更好的厚度(0.005Å),是低速率的沉積控制的理想選擇。
4基於同時沉積控制是可能的。(當你添加可選)
到最多99層的多層膜控制是可能的。(使用的多層膜的計算方法)
我們的程序可以保存到軟盤上。
考慮附著在晶體振盪器的歷史的膜,膜的厚度可以精確地測量。(MLC的功能)
使用
在濺射時,膜厚度和沉積速率控制
規格
厚度分辨率
0.00550Å(在5MHz晶)
0.00381Å(在6MHz水晶)
顯示分辨率/顯示器厚度範圍
0.001kÅ〜999.9kÅ/ 1Å
顯示分辨率/顯示範圍的沉積速率
0.001〜999.9Å/秒/0.001Å/秒
傳感器的頻率對應
為5MHz,6MHz的
數量的傳感器可以被安裝
(最多8個額外的選項)2
採樣率
250毫秒
多層膜的編號
99層
沉積程序的數目
128
數字輸入/輸出
12CH每個可編程
模擬輸出
POWER(0〜0.99V)率,THK是可選的
外形尺寸(W×D×H)毫米
480×353×149
詳細介紹: