ULVAC CRTM-9000 膜厚控制器

商品名稱:

ULVAC CRTM-9000 膜厚控制器

規格介紹:

特點
辨率更好的厚度(0.005低速率沉積控制理想選擇
4基於同時沉積控制是可能的。(當你添加可選
最多99層的多層膜控制是可能的。(使用多層膜的計算方法
我們的程序可以保存到軟盤上
考慮附著在晶體振盪器的歷史,膜的厚度可以精確地測量MLC的功能

使用

濺射時,膜厚度和沉積速率控制

規格
厚度分辨率
0.00550在5MHz
0.00381在6MHz水晶

顯示分辨率/顯示器厚度範圍
0.001k999.9k/ 1

顯示分辨率/顯示範圍的沉積速率
0.001〜999.9/秒/0.001/秒

傳感器的頻率對應
為5MHz,6MHz的

數量的傳感器可以被安裝
最多8個額外的選項)2

採樣率
250毫秒

多層膜編號
99層

沉積程序的數目
128

數字輸入/輸出
12CH每個可編程

模擬輸出
POWER(0〜0.99V,THK是可選的

外形尺寸(H)毫米
480×353
×149

詳細介紹:

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